Magnetron -sputteren is een depositietechnologie met een gasvormige plasma dat wordt gegenereerd en beperkt tot een ruimte die het materiaal bevat dat moet worden afgezet – het ‘doel’. … Deze botsingen veroorzaken een elektrostatische afstoting die elektronen uit de sputterende gasatomen ‘slaat’, waardoor ionisatie wordt veroorzaakt.
Wat is het principe van sputteren?
Het sputteringsprincipe is om de energie van een plasma (gedeeltelijk geïoniseerd gas) op het oppervlak van een doel (kathode) te gebruiken, om de atomen van het materiaal één voor één te trekken en ze af te zetten en te deponeren op het substraat.
Wat is RF Magnetron Sputtering?
RF magnetron sputteren is een techniek waarbij argonionen worden versneld door een RF -elektrisch veld om een ??doel te raken gemaakt van het materiaal om te sputter . … Wanneer een magnetisch veld wordt gebruikt om de ionen- en elektronentrajecten te vouwen, wordt het gemiddelde vrije pad verhoogd en wordt de sputterende opbrengst verhoogd.
Waarom wordt sputtering gebruikt?
RF sputtering sterk vermindert de opbouw van een lading op een specifieke locatie op het oppervlak van het doelmateriaal dat leidt tot de vonken die de boog creëert die tal van kwaliteitscontroleproblemen veroorzaakt. RF -sputteren vermindert ook het creëren van â Raseer spoor erosieâ op het oppervlak van het doelmateriaal.
Waarom gebruiken we sputteren?
sputteren wordt veelvuldig gebruikt in de halfgeleiderindustrie om dunne films van verschillende materialen in geïntegreerde circuitverwerking te storten . Dunne antireflectie -coatings op glas voor optische toepassingen worden ook afgezet door sputteren.
Wat betekent het als iemand sputtert?
1: Verwarde en opgewonden spraak of discussie. 2: De handeling of het geluid van sputteren .
Wat is goud sputteren?
Gouden sputtercoatings zijn een dun filmdepositieproces waarbij goud of een gouden legering wordt gebombardeerd met hoge energie -ionen in een vacuümkamer resulterend in de gouden atomen of moleculen die â Sputteredâ in het Damp en condensatie op het te bedekken substraat zoals sieraden, printplaten of medische implantaten.
Wat maakt een motor sputter?
Een van de meest voorkomende oorzaken van een sputtermotor is een probleem met het brandstofsysteem van het voertuig – het filter, de pomp en de injectoren . … Aangezien het brandstoffilter, de pomp en de injectoren samenwerken als onderdeel van één onderling verbonden systeem, hoeven vuil en puin slechts één deel te verstoppen om de andere te laten falen.
hoe verslijt een magnetron?
A Microwave Oven’s Power neemt af in de loop van de tijd omdat de magnetronbuis verzwakt. … Naarmate de magnetronbuis zwakker en minder effectief wordt, wordt de magnetron minder krachtig. Als u merkt dat de deur van de magnetron niet goed afdicht, is dit een duidelijk teken om uw magnetron te vervangen.
Hoe lang duurt een sputterdoel?
Antwoord: de levensduur van een sputterdoel wordt meestal gekwantificeerd in termen van stroomeenheden en tijd, zoals kilowatt/uren. Voor een doelwit dat wordt gesputterd met 500 watt voor een totale dienstcyclus van 100 uur dat is 50 kilowatt/uren.
Wat is het verschil tussen RF -sputteren en magnetron sputteren?
Het belangrijkste verschil is dat de kracht die wordt gebruikt bij sputtering AC is, terwijl dat in DC sputteren DC is. … Tijdens het positieve elektrische veld worden de positieve ionen versneld naar het oppervlak van het doelwit en sputteren het. Terwijl het tj -veldveld, kunnen de laadpositieve ionen op het oppervlak van het doelwit worden verwijderd.
Wat is semicore sputtering?
Op een atoomniveau is sputteren het proces waarbij atomen worden uitgeworpen uit een doel- of bronmateriaal dat moet worden afgezet op een substraat – zoals een siliciumwafer, zonnepaneel of optische apparaat – Als gevolg van het bombardement van het doelwit door hoge energie -deeltjes.
Waarom is een plasma nodig tijdens sputterafzetting?
Hoge energie -deeltjes zijn nodig om een ??doelwit te sputteren. Deze deeltjes worden geleverd door een plasma boven het doel te creëren. Een plasma is een verzameling elektronen (negatieve lading) en ionen (positief geladen deeltjes).
Wat is sputteren met diode?
In diode sputtering is er geen gebruik van magneten en dus geen magnetisch veld om het plasma te bevatten. Dit betekent dat plasma -ionen vrij door het vacuümsysteem stromen en het gehele oppervlak van het doelwit activeren, waardoor het doelgebruik toeneemt.
Is sputteren gedaan in vacuüm?
Coating -methoden omvatten fysieke dampafzetting (PVD) en één techniek wordt sputteren genoemd. De sputteringsmethode van dunne filmafzetting omvat het introduceren van een gecontroleerd gas , meestal chemisch inert argon, in een vacuümkamer, en een kathode elektrisch stimuleert om een ??zelfondersteunend plasma te vestigen.
Wat is DC sputteren?
DC of directe stroom sputtering is Een dunne film fysieke dampafzetting (PVD) coatingtechniek waarbij een doelmateriaal dat moet worden gebruikt als coating wordt gebombardeerd met geïoniseerde gasmoleculen waardoor atomen worden ” Het plasma . …
Waarom wordt argon gebruikt bij het sputteren?
Inerte gassen, specifiek argon, worden meestal gebruikt als het sputtergas omdat ze de neiging hebben niet te reageren met het doelmateriaal of te combineren met procesgassen en omdat ze hogere sputter- en afzettingssnelheden produceren als gevolg van hun hoge molecuulgewicht.
wat voorschaduwingen betekenen?
Transitief werkwoord. : om van tevoren te vertegenwoordigen, aan te geven of te typeren : de hachelijke situatie van de held vooraf in het eerste hoofdstuk voorafschaduwd.
Wat is sputteren in nanotechnologie?
sputteren is een -proces waardoor microscopische deeltjes van een doelmateriaal uit het oppervlak worden uitgeworpen na het bombardement van energetische ionen van gas of gasvormig plasma. Momentum -uitwisseling tussen atomen en ionen van het element veroorzaakt sputteren.
Kun je het blokkeren, wat betekent?
kraam werkwoord (motor)
Als een motor vastloopt, of als u deze blokkeert, stopt het met plotseling te werken en zonder dat u het wilt gebeuren: een auto kan opkomen naar de bestuurder die te plotseling remmen.
Hoe worden monsters bedekt met goud?
De meest voorkomende manier om dit te doen is door een dunne laag goud of goud-palladiumlegering toe te voegen aan het monster door vacuümverdamping of sputtercoating zodat het monster gelijkmatig gaat en een homogeen oppervlak biedt voor analyse en beeldvorming.
Is sputteren een top -down -aanpak?
De top-down benaderingen hebben de voorkeur voor het kweken van dunne films waarbij bulkmateriaal wordt gebruikt voor deposities. De methoden, die vaak worden gebruikt, zijn radiofrequentie sputteren , gepulseerde lased depositie en moleculaire bundelpitaxie en e-bundelverdamping.
Waarom is RF -sputteren beter dan DC -sputteren?
Typisch maakt RF een betere dunne film dan DC , gepulseerde DC of AC. De RF-geavanceerde film zal soepeler zijn en een betere verpakkingsdichtheid hebben. RF stort ook de film af op ongeveer 20% van het DC -tarief. … Als u wilt sputteren met DC, gepulseerde DC of AC, moet u een geleidend (of semi-geleidend) doel hebben.