أظهر فريق من الباحثين في كوريا استخدام تقنية التذبذب لتعزيز دقة الطباعة الحجرية التي تنتج البنى النانوية. تستخدم هذه التقنية جهاز عرض معالجة الضوء الرقمي (DLP) ، على غرار تلك المستخدمة في أجهزة التلفزيون الإسقاط ، لإنشاء أنماط الطباعة الحجرية.
ما هو OPC في أشباه الموصلات؟
تصحيح القرب البصري (OPC) هو تقنية تستخدم للتعويض عن تشوهات الصورة التي تحدث أثناء الطباعة الحجرية ذات الطول الموجي: طباعة هياكل أصغر من الطول الموجي للضوء المستخدم.
ما هي ميزات مساعدة الدقة الفرعية؟
ميزة مساعد الدقة الفرعية (SRAF) يتم تطبيقها لتعزيز نافذة عملية الميزات المعزولة وشبه المعزولة من خلال الاستفادة من التداخل البصري بين الميزات الرئيسية والميزات المساعدة . SRAF هي تقنية أساسية لطباعة الطباعة الحجرية المتقدمة.
ما هو التصوير الفوتوغرافي في VLSI؟
التصوير الفوتوغرافي هو عملية نقل الأشكال الهندسية على قناع على سطح سيليكون ويفر . الخطوات التي تنطوي عليها عملية التصوير الفوتوغرافي هي تنظيف الرقاقة ؛ تشكيل طبقة الحاجز ؛ تطبيق مقاوم الفوتور ؛ خبز ناعم محاذاة قناع التعرض والتنمية ؛ والخبز الصعب.
ما هو قناع OPC؟
تصحيح القرب البصري (OPC) هو أحد تقنيات تحسين الدقة السائدة (RETS) التي يمكن أن تحسن بشكل كبير من قابلية طباعة القناع. ومع ذلك ، في العقد التكنولوجية المتقدمة ، تستهلك عملية تحسين القناع المزيد والمزيد من الموارد الحسابية.
ما هي تقنية الطباعة الحجرية العكسية؟
تقنية الطباعة الحجرية العكسية (ILT) هي نهج صارم لتحديد أشكال القناع التي تنتج نتائج الفرق المطلوبة . في هذه الورقة ، نصف بإيجاز صورة (أو بكسل))-تنفيذ ILT مقارنة بتقنيات OPC ، والتي عادة ما تكون تعتمد على الحافة.
ما هي تقنيات الطباعة الحجرية؟
تقنيات – الطباعة الحجرية
- التنظيف. …
- إعداد السطح. …
- تطبيق مقاوم الضوئي. …
- النقش. …
- إزالة المقاوم الضوئي. …
- الطباعة الحجرية البصرية.
- الطباعة الحجرية الشعاع الإلكترون.
- معطفات الفوتورات.
ما هي الخطوات الثلاثة الأساسية لعملية التصوير الفوتوغرافي؟
يستخدم التصوير الفوتوغرافي ثلاث خطوات عملية أساسية لنقل نمط من قناع إلى رقاقة: معطف ، تطور ، فضح . يتم نقل النمط إلى طبقة سطح الرقاقة أثناء عملية لاحقة. في بعض الحالات ، يمكن أيضًا استخدام نمط المقاومة لتحديد النمط لفيلم رفيع مودع.
ما هي الطريقة الأكثر استخدامًا في الطرق الحجرية؟
الطباعة الحجرية البصرية هي تقنية قائمة على الفوتون تتألف من إسقاط صورة في مستحلب حساس (مقاوم ضوئي) مطلي على ركيزة مثل رقاقة السيليكون. إنها عملية الطباعة الحجرية الأكثر استخدامًا على نطاق واسع في تصنيع الحجم الكبير للإلكترون النانوي بواسطة صناعة أشباه الموصلات.
ما هي متطلبات التصوير الفوتوغرافي؟
بشكل عام ، تتطلب عملية التصوير الفوتوغرافي ثلاث مواد أساسية ومصدر إضاءة وقناع صور ومقاومة ضوئية . المقاوم الضوئي ، مادة حساسة للضوء ، له نوعان ، إيجابي وسلبي. يصبح مقاوم الضوء الإيجابي أكثر قابلية للذوبان بعد التعرض لمصدر الضوء.
لماذا يستخدم ضوء الأشعة فوق البنفسجية في التصوير الفوتوغرافي؟
يتم استخدام مصباح الأشعة فوق البنفسجية لفضح مقاوم الضوء ، وهو مادة كيميائية حساسة ، لعلاج تصميم ميكروفلويديك من أجل إنشاء قالب لتكرار الرقائق أو رقاقة ميكروفلويديك نفسها .
ما هي تقنية التصوير الفوتوغرافي؟
التصوير الفوتوغرافي الضوئي ، الذي يسمى أيضًا الطباعة الحجرية البصرية أو الطباعة الحجرية للأشعة فوق البنفسجية ، هي عملية تستخدم في التصنيع الدقيق لأجزاء نمط على فيلم رفيع أو الجزء الأكبر من الركيزة (تسمى أيضًا رقاقة). … يمكن أن تخلق هذه الطريقة أنماطًا صغيرة للغاية ، وصولاً إلى بضع عشرات من المقاييس النانوية.
ما هي تقنيات الطباعة الحجرية الحديثة؟
هذه التقنيات هي الطباعة الحجرية فوق البنفسجية المتطرفة (EUVL) ، الطباعة الحجرية لحمة الإلكترون (EBL) ، الطباعة الحجرية المركزة (FIBL) ، الطباعة الحجرية النانوية (NIL) والتجميع الذاتي الموجه (DSA). لديهم إمكانات كبديل للضوء التقليدي.
هل ما زالت الطباعة الحجرية تستخدم اليوم؟
يتم استخدام الطباعة الحجرية على نطاق واسع حول عالم طباعة الكتب والكتالوجات والملصقات ، بسبب النتائج عالية الجودة والتحول السريع. في حين أن الأمر يستغرق وقتًا أطول من الإعداد من الطابعة الرقمية ، إلا أنه أسرع في القيام بكميات عالية من العناصر المتكررة عالية الجودة.
ما هي الخطوات الأساسية في تسلسل الطباعة الحجرية؟
التسلسل العام للخطوات لعملية الطباعة الحجرية البصرية النموذجية هو كما يلي: إعداد الركيزة ، معطف تدور الضوئي ، prebake ، التعرض ، خبز ما بعد التعرض ، التطوير ، و postbake.
ما هو بروتوكول OPC UA؟
OPC Architecture (OPC UA) هي جهاز لبروتوكول اتصال الماكينة للأتمتة الصناعية التي تم تطويرها بواسطة مؤسسة OPC. … بناءً على اتصال خادم العميل. التركيز على التواصل مع المعدات الصناعية وأنظمة لجمع البيانات والتحكم فيها.
ما هو K1 في الطباعة الحجرية؟
يشير عامل K1 إلى صعوبة عملية الطباعة الحجرية ؛ يتم تحديده من خلال قاعدة التصميم المستهدف ، الفتحة العددية (NA) ، وطول موجة التعرض بالليزر وفقًا للصيغة التالية: K1 = قاعدة التصميم * NA من أداة الطباعة الحجرية /طول موجة التعرض بالليزر.
كيف يعمل الطباعة الحجرية الغمر؟
في الطباعة الحجرية الانغماس ، ينتقل الضوء إلى أسفل عبر نظام من العدسات ثم مجموعة من الماء قبل الوصول إلى مقاوم الضوئي في أعلى الويفر .
لماذا نحتاج إلى تخطيط ضوئي؟
التصوير الفوتوغرافي هو واحد من أهم طرق التصنيع الدقيق وأسهل ، ويستخدم لإنشاء أنماط مفصلة في مادة . في هذه الطريقة ، يمكن حفر الشكل أو النمط من خلال التعرض الانتقائي للبوليمر الحساس للضوء إلى ضوء الأشعة فوق البنفسجية.
ما هو التصوير الفوتوغرافي في تقنية النانو؟
التصوير الفوتوغرافي هو عملية تحديد نمط على سطح شريحة مادة الجهاز . من خلال استخدام هذه الأنماط بشكل متتابع لتحديد جهات الاتصال المعدنية أو المناطق المحفورة ، يتم بناء جهاز كامل تدريجياً.
ما هي تكلفة آلة التصوير الفوتوغرافي؟
يزن كل EUV 180 طنًا ، ويستغرق التجميع من 17 إلى 18 أسبوعًا ، والتكاليف أكثر من 120 مليون دولار ؛ في العام الماضي ، من بين 258 أنظمة التصوير الفوتوغرافي الذي باعته ، 31 كانت EUVs.
ما هو نطاق الأشعة فوق البنفسجية؟
تغطي منطقة الأشعة فوق البنفسجية نطاق الطول الموجي 100-400 نانومتر ويتم تقسيمها إلى ثلاثة نطاقات: UVA (315-400 نانومتر) UVB (280-315 نانومتر) UVC (100-280 نانومتر).
لماذا يستخدم ضوء الأشعة فوق البنفسجية لكتابة أنماط؟
يستخدم Light لنقل نمط هندسي من مقلة ضوئية (تسمى أيضًا قناع بصري) إلى مقاوم ضوئي حساس للضوء (أي حساسية) على الركيزة. … يوفر تحكمًا دقيقًا في شكل وحجم الكائنات التي ينشئها ويمكن أن تنشئ أنماطًا على سطح كامل من حيث التكلفة.